Top Hat/Flat Top 레이저 빔을 사용하는 이유는 무엇입니까?

Jul 24, 2023

대부분의 레이저 빔은 가우시안이지만 어떤 경우에는 가우시안이 아닌 조도 프로파일을 갖는 것이 유리할 수 있습니다. 가우시안 빔의 대칭 방사 조도 분포는 레이저 빔 단면 중심으로부터의 거리가 증가함에 따라 감소합니다. Flat-top 또는 top-hat 빔은 레이저 빔의 단면에 걸쳐 일정한 조도 분포를 갖습니다(그림 1). 주어진 영역에서 일정한 강도로 이점을 얻을 수 있는 일부 응용 분야에는 반도체 웨이퍼 처리, 고전력 수준에서의 비선형 주파수 변환 및 재료 처리가 포함됩니다. 플랫탑 빔은 일반적으로 가우시안 빔보다 더 선명하고 날카로운 모서리와 같은 더 정확하고 예측 가능한 결과를 생성하지만 시스템 복잡성과 비용이 추가로 발생합니다.

why use flat top hat laser fig-1

그림 1: 가우시안 빔은 애플리케이션에 필요한 임계값보다 높은 불필요한 에너지와 가우시안 빔의 외부 부분에서 임계값보다 낮은 에너지를 통해 에너지를 낭비합니다. 탑햇/플랫탑 빔은 낭비되는 에너지를 최소화하면서 임계값을 초과한다는 점에서 더 효율적입니다.

 

 

가우시안 빔
고품질 단일 모드 레이저는 TEM00 모드인 낮은 차수의 가우스 조도 분포를 생성합니다. 탑햇/플랫탑 레이저 빔과 동일한 평균 광학 출력을 가진 가우시안 빔은 탑햇/플랫탑 레이저 빔의 최대 에너지 밀도가 두 배입니다(그림 2). 가우시안 빔은 변환 중에 일정하게 유지됩니다. 따라서 빔이 시스템을 통해 전파됨에 따라 빔 크기가 변경되더라도 빔 프로파일은 가우시안 분포를 유지합니다. 가우시안 함수의 푸리에 변환은 또 다른 가우시안 함수이기 때문입니다. 빛은 무한대로 전파되거나 완벽한 렌즈를 통해 초점을 맞춤으로써 푸리에 변환을 거칩니다. TEM00과 같은 레이저 모드에 대해 자세히 알아보려면 레이저 공진기 모드 애플리케이션 노트를 방문하세요.

why use flat top hat laser fig-2

그림 2: 동일한 광학 출력에서 ​​가우시안 빔과 플랫탑 빔, 가우시안 빔의 피크 강도가 플랫탑 빔의 두 배임을 보여줍니다.

가우시안 레이저는 다른 레이저보다 일반적이고 비용 효율적이지만 "날개" 또는 사용 가능한 빔 중심에서 확장되는 저강도 영역과 같은 몇 가지 단점이 있습니다. 가우시안 빔의 날개 강도가 애플리케이션에 필요한 임계값 미만인 경우 일반적으로 에너지 낭비가 발생합니다(그림 1). 또한 주변 영역에 손상을 주고 열 영향 영역을 확장하여 레이저 수술 및 정밀 재료 가공과 같은 응용 분야에 해로울 수 있습니다. 가우시안 빔으로 미세 형상을 절단하거나 성형하면 빔의 더 큰 열 영향 영역으로 인해 탑햇/플랫탑 빔보다 정밀도가 떨어지므로 탑햇/플랫탑 빔이 이러한 응용 분야에 더 나은 선택이 됩니다.

 

 

탑 햇/플랫 탑 빔

실제 빔이 이상적인 플랫 탑 빔에 얼마나 가까운지 평가하는 한 가지 방법은 평탄도 계수(Fη). 이는 설명된 대로 평균 방사조도 값을 최대 방사조도 값으로 나누어 결정됩니다.

 

Fη=평균 조도/최대 조도

 

톱 햇/플랫 탑 빔에 날개가 없고 가장자리 전환이 더 가파르면 에너지 전달 효율이 높아지고 열 영향 영역이 줄어듭니다. 이는 높은 정확도와 주변 영역의 손상 최소화가 우선시되는 광범위한 응용 분야에 유용합니다. LIDT(Laser-Induced Damage Threshold) 테스트와 같은 계측 응용 분야에서 Top Hat/Flat Top Beam의 균일하고 잘 정의된 프로파일은 측정 불확실성과 통계적 분산을 줄입니다.

 

톱 햇/플랫 탑 빔은 레이저 출력을 탑 햇/플랫 탑 빔으로 변환하기 위해 추가 빔 형성 구성 요소가 필요하기 때문에 가우시안 빔만큼 비용 효율적이지 않습니다(그림 3). 이 빔 성형 부품은 레이저 소스에 내장하거나 레이저 외부에 배치할 수 있습니다. 이러한 추가 빔 셰이퍼는 xy 정렬에 민감하며 입력 빔 직경에 따라 달라집니다. 탑 햇/플랫 탑 레이저 빔은 변환 중에 일정하게 유지되지 않습니다. 따라서 입사 탑햇/플랫톱 빔의 빔 프로파일은 빔이 전파됨에 따라 자연적으로 보존되지 않습니다. 탑햇/플랫탑 함수의 푸리에 변환은 에어리 스팟 함수이며, 이는 탑햇/플랫탑 빔이 결국 에어리 스팟으로 진화한다는 것을 의미합니다.

why use flat top hat laser fig-3

그림 3: 가우시안 분포와 플랫탑 분포 사이에서 변환되는 빔 프로파일의 애니메이션.

 

 

하이햇/플랫햇 레이저 빔을 사용하면 다양한 산업 및 과학 응용 분야에 다양한 이점을 제공합니다. 균일한 에너지 분포와 열 렌즈 및 스폿 크기를 줄이는 기능을 갖춘 이 유형의 빔은 다양한 레이저 프로세스의 정밀도, 일관성 및 효율성을 개선하는 데 도움이 될 수 있습니다.

top hat flat top hat laser

 

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